全自动化单臂式超声波清洗烘干机

全自动化单臂式超声波清洗烘干机
清洗工艺：超声波清洗1（40khz)-超声波清洗2（68khz)-旋流漂洗—热风干燥。设备主要部件由，单臂机械手，伺服横移驱动系统，伺服提升驱动系统，气动手指抓取系统，气动上下料系统，循环过滤系统，热风干燥系统，有机溶剂冷却系统，自动灭火系统，自动槽盖，有机溶剂蒸汽浓度检测系统，智能User Interface控制系统等组成，超纯水制取系统等组成。该设备的特点是清洁度高，自动化程度高，解决了客户基板清洗残留严重，发光率低，合格率低的问题。